潤滑旋片真空泵

標準的潤滑旋片泵是具有一體式閉環油循環系統的單級泵。結構堅固耐用。典型的葉片壽命為50,000小時。

泵轉子偏心安裝在泵缸中。隨著泵轉子的旋轉，進氣被困在轉子和葉片段之間（請參見下圖中的＃1）。這會在入口側增加細胞體積，從而產生真空。

由于轉子偏心于泵室，因此轉子，葉片和殼體之間的體積減小，轉子旋轉增加。隨著旋轉的繼續，空氣被壓縮并排放到排氣箱中。請參見下圖中的＃3。

空氣然后經過內部除油霧器的多個階段，以從廢氣中去除99.9％的潤滑油。然后將油返回到儲油器。

氣鎮原理

在給定的溫度下，蒸氣只能被壓縮到飽和蒸氣壓。超過此點，蒸氣冷凝。例如，在100°C下，蒸氣可能僅壓縮到1,013.2 mbar；蒸氣將在較高壓力下冷凝。

在水容器中（室溫），泵將開始將壓力降低至水的蒸發點（如果水在海平面上處于25°C，則蒸發壓力將為31.67 mbarjue對壓力）。在上圖中的階段1中，泵將開始吸入空氣和水蒸氣的混合物。

在階段2中，進氣量與原始容器和排氣管隔離。在此階段，氣鎮上的閥打開并添加一定量的空氣以改變混合物的飽和壓力。

zui后，在zui后階段，混合物（富含新鮮空氣）被排出，但是由于改變了飽和壓力，因此不會形成冷凝液滴，并且可以在不影響泵工作的情況下從泵中排出進氣。

因此，兩個因素至關重要：進氣溫度和泵溫度。在開始使用可冷凝氣體運行之前，必須先對泵進行加熱，并且進氣溫度必須盡可能低。

濕式旋片真空泵

濕式旋片真空泵的工作原理與潤滑的旋片真空泵相同。區別包括：

• 濕應用泵的分離器包括擋板，以幫助水從油中沉淀出來。
• 大觀察鏡可清晰顯示油中的水。
• 泵停止后，可以從下部排水閥排出水。

無油旋轉葉片

無油旋片真空泵的工作原理與潤滑的旋片真空泵非常相似。

主要區別包括：

• 真空泵未加油潤滑，因此沒有儲油器或除霧器。石墨葉片在無油的環境中運行。
• 典型的葉片壽命為10,000小時。
• zui高真空度限制為26.4英寸汞柱。